آزمایشگاه ساخت ادوات پیشرفته میکرو و نانو در سال 1393 در فضای اتاق تمیز 78 متری تاسیس شد. این آزمایشگاه با دارا بودن اغلب تجهیزات فرایند ساخت ادوات الکترونیکی در حوزه های مختلف: الکترونیک، شیمی، مکانیک و شیمی قادر به انجام اغلب پروژه های تحقیقاتی است. تمرکز اصلی این آزمایشگاه روی ساخت و مشخصه یابی سنسورهای حوزه MEMS و نانوالکترونیک است که در کنار دستیابی به فرایندهای جدید ساخت صورت می گیرد. علاوه بر کارهای تحقیقاتی، این آزمایشگاه قادر به ارائه خدمات به دیگر مراکز نیز است.

1. طراحی میکروفن خازنی با دیافراگم دو تکه
2. طراحی اکچیتر ممزی برای لقاح مصنوعی و نفوذ به تخمک
3. رشد نانولوله های کربنی و هیبرید آنها با کریستال های مایع برای کاربردهای نوری
4. طراحی و ساخت سنسور فشار سنج خازنی  MEMS
5. طراحی و ساخت سامانه تزریق برای تولید نانووایرهای کنترل شده پلیمری
6. طراحی و ساخت میکرو پمپ سه مرحله ای
7. طراحی و ساخت سنسور الکتروشیمیایی اندازه گیری گلوکز
8. طراحی و ساخت سنسور اندازه گیری فلو و شدت جریان سیال
9. طراحی و ساخت سنسور الکتروشیمیایی اندازه گیری گلیکوهموگلوبین
10. بررسی رفتار الکترونیکی نانووایرهای اکسید روی برای کاربرد فشارسنج
11. رشد افقی نانولوله های کربنی برای کاربردهای سنسور گازی
12. طراحی ، ساخت و تست سنسور شتاب سنج  MEMS

• نشانی: تهران، خیابان کارگر شمالی، بالاتر از جلال آل احمد، دانشکده علوم و فنون نوین

• پست الکترونیکی: koohsorkhi@ut.ac.ir